სათაური: რა არის FOUP ჩიპების წარმოებაში?

შინაარსი

1. FOUP-ის მიმოხილვა და ძირითადი ფუნქციები

2. FOUP-ის სტრუქტურა და დიზაინის მახასიათებლები

3. FOUP-ის კლასიფიკაციისა და გამოყენების სახელმძღვანელო პრინციპები

4. ნახევარგამტარული წარმოებაში FOUP-ის ოპერაციები და მნიშვნელობა

5. ტექნიკური გამოწვევები და სამომავლო განვითარების ტენდენციები

6. XKH-ის ინდივიდუალური გადაწყვეტილებები და მომსახურების მხარდაჭერა

ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში, წინა გახსნის ერთიანი კაფსულა (FOUP) წარმოადგენს კრიტიკულად მნიშვნელოვან კონტეინერს, რომელიც გამოიყენება ვაფლების დასაცავად, ტრანსპორტირებისთვის და შესანახად. მის შიგნით იტევს 25 ცალი 300 მმ ვაფლი, ხოლო მისი ძირითადი კომპონენტებია წინა გახსნის კონტეინერი და გაღების და დახურვისთვის განკუთვნილი კარის ჩარჩო. FOUP წარმოადგენს 12 დიუმიანი ვაფლის ქარხნების ავტომატიზირებული ტრანსპორტირების სისტემის ძირითად მატარებელს. ის, როგორც წესი, გადაიტანება დახურულ მდგომარეობაში და იხსნება მხოლოდ აღჭურვილობის ჩატვირთვის პორტში მიტანისას, რაც საშუალებას იძლევა ვაფლები გადაიტანოს აღჭურვილობის ჩატვირთვა/გადმოტვირთვის პორტში.

FOUP-ის დიზაინი ადაპტირებულია მიკროგარემოს მოთხოვნებთან. მას უკანა მხარეს აქვს ჭრილები ვაფლების ჩასასმელად, ხოლო სახურავი სპეციალურად შექმნილია გამხსნელის დამჭერის შესატყვისად. ვაფლების დამმუშავებელი რობოტები მუშაობენ 1 კლასის სუფთა ჰაერის გარემოში, რაც უზრუნველყოფს, რომ ვაფლები არ დაბინძურდეს გადაცემის დროს. გარდა ამისა, FOUP გადაადგილდება დამუშავების ხელსაწყოებს შორის ავტომატიზირებული მასალების დამუშავების სისტემის (AMHS) მეშვეობით. თანამედროვე ვაფლების ქარხნები ტრანსპორტირებისთვის ძირითადად იყენებენ საჰაერო რელსების სისტემებს, ხოლო რამდენიმე ძველ ქარხანაში შეიძლება გამოყენებულ იქნას მიწაზე დაფუძნებული ავტომატური მართვადი მანქანები (AGV).

FOUP არა მხოლოდ ვაფლების ავტომატიზირებულ გადატანას უზრუნველყოფს, არამედ შენახვის ფუნქციასაც ასრულებს. წარმოების მრავალი ეტაპის გამო, ვაფლების მთელი პროცესის დასრულებას შეიძლება თვეები დასჭირდეს. მაღალი ყოველთვიური წარმოების მოცულობასთან ერთად, ეს ნიშნავს, რომ ქარხანაში ათიათასობით ვაფლი მუდმივად ტრანზიტში ან დროებით შესანახად იმყოფება ნებისმიერ დროს. შენახვის დროს, FOUP პერიოდულად იწმინდება აზოტით, რათა თავიდან იქნას აცილებული დამაბინძურებლების ვაფლებთან კონტაქტი, რაც უზრუნველყოფს სუფთა და საიმედო წარმოების პროცესს.

1. FOUP-ის ფუნქციები და მნიშვნელობა

FOUP-ის ძირითადი ფუნქციაა ვაფლების დაცვა გარე დარტყმებისა და დაბინძურებისგან, განსაკუთრებით გადატანის დროს მოსავლიანობაზე ზემოქმედების თავიდან აცილება. ის ეფექტურად უშლის ხელს ტენიანობას ისეთი მეთოდების მეშვეობით, როგორიცაა გაზით გაწმენდა და ადგილობრივი ატმოსფეროს კონტროლი (LAC), რაც უზრუნველყოფს ვაფლების უსაფრთხო მდგომარეობაში შენარჩუნებას შემდეგი წარმოების ეტაპის მოლოდინში. მისი დალუქული და კონტროლირებადი სისტემა მხოლოდ საჭირო ნაერთებისა და ელემენტების შეღწევის საშუალებას იძლევა, რაც მნიშვნელოვნად ამცირებს VOC-ების, ჟანგბადის და ტენიანობის უარყოფით გავლენას ვაფლებზე.

ვინაიდან 25 ვაფლით სრულად დატვირთული FOUP-ის წონა შეიძლება 9 კილოგრამამდე იყოს, მისი ტრანსპორტირება უნდა ეფუძნებოდეს მასალების დამუშავების ავტომატიზირებულ სისტემას (AMHS). ამის გასაადვილებლად, FOUP შექმნილია შემაერთებელი ფირფიტების, ქინძისთავებისა და ხვრელების სხვადასხვა კომბინაციით და აღჭურვილია RFID ელექტრონული ტეგებით მარტივი იდენტიფიკაციისა და კლასიფიკაციისთვის. ეს ავტომატიზირებული დამუშავება თითქმის არ საჭიროებს ხელით მუშაობას, რაც მნიშვნელოვნად ამცირებს შეცდომების მაჩვენებელს და ზრდის წარმოების პროცესის უსაფრთხოებას და სიზუსტეს.

2. FOUP-ის სტრუქტურა და კლასიფიკაცია

FOUP-ის ტიპური ზომებია დაახლოებით 420 მმ სიგანე, 335 მმ სიღრმე და 335 მმ სიმაღლე. მისი ძირითადი სტრუქტურული კომპონენტებია: ზედა OHT (სოკოს თავი) ოვერჰედის ამწეზე გადასატანად; წინა კარი აღჭურვილობის ვაფლებზე წვდომისთვის; გვერდითი სახელურები, ხშირად ფერადი კოდირებით, სხვადასხვა დაბინძურების დონის მქონე დამუშავების არეების გასარჩევად; ბარათის არე შეტყობინებების ბარათების განსათავსებლად; და ქვედა RFID ტეგი, რომელიც FOUP-ის უნიკალურ იდენტიფიკატორს წარმოადგენს, რაც ხელსაწყოებსა და ოვერჰედის ამწეებს მისი ამოცნობის საშუალებას აძლევს. ძირი ასევე აღჭურვილია ოთხი იდენტიფიკაციისა და პოზიციონირების ნახვრეტით ხელსაწყოებთან შესატყვისად და დამუშავების არეების გასარჩევად.

გამოყენების მიხედვით, FOUP-ები კლასიფიცირდება სამ ტიპად: PRD (წარმოებისთვის), ENG (საინჟინრო ვაფლებისთვის) და MON (მონიტორინგის ვაფლებისთვის). PRD FOUP-ების გამოყენება შესაძლებელია პროდუქტის წარმოებისთვის, ENG ტიპები შესაფერისია კვლევისა და განვითარებისთვის ან ექსპერიმენტებისთვის, ხოლო MON ტიპები განკუთვნილია პროცესის მონიტორინგისთვის ისეთი ნაბიჯებისთვის, როგორიცაა CMP და DIFF. მნიშვნელოვანია აღინიშნოს, რომ PRD FOUP-ების გამოყენება შესაძლებელია როგორც ENG, ასევე MON მიზნებისთვის, ხოლო ENG ტიპების გამოყენება შესაძლებელია MON-ისთვის, მაგრამ საპირისპირო ოპერაცია ხარისხის რისკებს შეიცავს.

დაბინძურების დონის მიხედვით კლასიფიცირებული FOUP-ები შეიძლება დაიყოს FE FOUP-ებად (წინა ეტაპის პროცესი, ლითონის გარეშე), BE FOUP-ებად (უკანა ეტაპის პროცესი, რომელიც შეიცავს ლითონს) და ისეთებად, რომლებიც სპეციალიზებულია კონკრეტული ლითონის პროცესებისთვის, როგორიცაა NI FOUP, CU FOUP და CO FOUP. სხვადასხვა პროცესისთვის განკუთვნილი FOUP-ები, როგორც წესი, გამოირჩევიან გვერდითი სახელურების ან კარის პანელების ფერით. წინა ეტაპის პროცესებიდან მიღებული FOUP-ების გამოყენება შესაძლებელია უკანა ეტაპის პროცესებში, მაგრამ უკანა ეტაპის FOUP-ები არასდროს არ უნდა იქნას გამოყენებული წინა ეტაპის პროცესებში, რადგან ეს გამოიწვევს დაბინძურების რისკს.

ნახევარგამტარების წარმოების ძირითადი გადამზიდავი, FOUP, მაღალი ავტომატიზაციისა და დაბინძურების მკაცრი კონტროლის გზით, უზრუნველყოფს ვაფლების უსაფრთხოებას და სისუფთავეს წარმოების პროცესში, რაც მას თანამედროვე ვაფლის ქარხნებში შეუცვლელ ინფრასტრუქტურად აქცევს.

დასკვნა

XKH ვალდებულია მომხმარებლებს მიაწოდოს მაღალკვალიფიციური წინა გახსნის ერთიანი პოდის (FOUP) გადაწყვეტილებები, მკაცრად დაცვით თქვენი კონკრეტული პროცესის მოთხოვნებსა და აღჭურვილობის ინტერფეისის სპეციფიკაციებს. მოწინავე მასალების ტექნოლოგიებისა და ზუსტი წარმოების პროცესების გამოყენებით, ჩვენ ვუზრუნველყოფთ, რომ FOUP-ის თითოეული პროდუქტი უზრუნველყოფდეს გამორჩეულ ჰერმეტულობას, სისუფთავეს და მექანიკურ სტაბილურობას. ჩვენს ტექნიკურ გუნდს გააჩნია ღრმა ინდუსტრიული ექსპერტიზა, რომელიც გთავაზობთ ყოვლისმომცველ სასიცოცხლო ციკლის მხარდაჭერას - შერჩევის კონსულტაციიდან და სტრუქტურული ოპტიმიზაციისგან დაწყებული დასუფთავებითა და მოვლა-პატრონობით დამთავრებული - რაც უზრუნველყოფს FOUP-სა და თქვენს ავტომატიზირებულ მასალების დამუშავების სისტემას (AMHS), ასევე გადამამუშავებელ აღჭურვილობას შორის შეუფერხებელ ინტეგრაციას და ეფექტურ თანამშრომლობას. ჩვენ მუდმივად პრიორიტეტს ვანიჭებთ ვაფლების უსაფრთხოებას და წარმოების მოსავლიანობის გაზრდას, როგორც ჩვენს ძირითად მიზნებს. ინოვაციური პროდუქტებისა და ყოვლისმომცველი ტექნიკური მომსახურების მეშვეობით, ჩვენ ვთავაზობთ საიმედო გარანტიას თქვენი ნახევარგამტარული წარმოების პროცესებისთვის, რაც საბოლოოდ ზრდის წარმოების ეფექტურობას და პროდუქტის მოსავლიანობას.