უპირატესობებიშუშის მეშვეობით (TGV)და Silicon Via(TSV) მეშვეობით TGV პროცესები ძირითადად არის:
(1) შესანიშნავი მაღალი სიხშირის ელექტრული მახასიათებლები. შუშის მასალა არის საიზოლაციო მასალა, დიელექტრიკული მუდმივი სილიკონის მასალის მხოლოდ 1/3-ია, ხოლო დანაკარგის კოეფიციენტი 2-3 რიგით დაბალია ვიდრე სილიკონის მასალა, რაც მნიშვნელოვნად ამცირებს სუბსტრატის დანაკარგს და პარაზიტულ ეფექტს. და უზრუნველყოფს გადაცემული სიგნალის მთლიანობას;
(2)დიდი ზომის და ულტრა თხელი მინის სუბსტრატიადვილი მოსაპოვებელია. Corning, Asahi და SCHOTT და მინის სხვა მწარმოებლებს შეუძლიათ უზრუნველყონ ულტრა დიდი ზომის (>2მ × 2მ) და ულტრა თხელი (<50მკმ) პანელის მინა და ულტრა თხელი მოქნილი მინის მასალები.
3) დაბალი ღირებულება. ისარგებლეთ დიდი ზომის ულტრა თხელი პანელის მინაზე მარტივი წვდომით და არ საჭიროებს საიზოლაციო ფენების დეპონირებას, შუშის ადაპტერის ფირფიტის წარმოების ღირებულება არის სილიკონზე დაფუძნებული ადაპტერის ფირფიტის მხოლოდ 1/8;
4) მარტივი პროცესი. არ არის საჭირო სუბსტრატის ზედაპირზე და TGV-ის შიდა კედელზე საიზოლაციო ფენის დეპონირება და ულტრა თხელ ადაპტერის ფირფიტაში არ არის საჭირო გათხელება;
(5) ძლიერი მექანიკური სტაბილურობა. მაშინაც კი, როდესაც ადაპტერის ფირფიტის სისქე 100 μm-ზე ნაკლებია, დახრილობა მაინც მცირეა;
(6) აპლიკაციების ფართო სპექტრი, არის განვითარებადი გრძივი ურთიერთდაკავშირების ტექნოლოგია, რომელიც გამოიყენება ვაფლის დონეზე შეფუთვის სფეროში, ვაფლ-ვაფლს შორის უმოკლეს მანძილის მისაღწევად, ურთიერთდაკავშირების მინიმალური სიმაღლე უზრუნველყოფს ახალ ტექნოლოგიურ გზას, შესანიშნავი ელექტრო თერმული, მექანიკური თვისებები, RF ჩიპში, მაღალი დონის MEMS სენსორები, მაღალი სიმკვრივის სისტემის ინტეგრაცია და უნიკალური უპირატესობების მქონე სხვა სფეროები, არის შემდეგი თაობა. 5G, 6G მაღალი სიხშირის ჩიპი 3D ეს არის ერთ-ერთი პირველი არჩევანი შემდეგი თაობის 5G და 6G მაღალი სიხშირის ჩიპების 3D შეფუთვისთვის.
TGV-ის ჩამოსხმის პროცესი ძირითადად მოიცავს ქვიშის აფეთქებას, ულტრაბგერითი ბურღვას, სველ გრავირებას, ღრმა რეაქტიული იონების ამოღებას, ფოტომგრძნობიარე გრავირებას, ლაზერულ გრავირებას, ლაზერით ინდუცირებულ სიღრმის ფორმირებას და ფოკუსირებული გამონადენის ხვრელის ფორმირებას.
ბოლოდროინდელი კვლევისა და განვითარების შედეგები აჩვენებს, რომ ტექნოლოგიას შეუძლია მოამზადოს ხვრელების და 5:1 ბრმა ხვრელების სიღრმე და სიგანე 20:1 თანაფარდობა და აქვს კარგი მორფოლოგია. ლაზერით გამოწვეული ღრმა გრავირება, რაც იწვევს ზედაპირის მცირე უხეშობას, ამჟამად ყველაზე შესწავლილი მეთოდია. როგორც სურათზე 1-ზეა ნაჩვენები, ჩვეულებრივი ლაზერული ბურღვის ირგვლივ აშკარა ბზარებია, ხოლო ლაზერით გამოწვეული ღრმა ჭრის მიმდებარე და გვერდითი კედლები სუფთა და გლუვია.
დამუშავების პროცესიTGVინტერპოსერი ნაჩვენებია სურათზე 2. საერთო სქემა არის ხვრელების გაბურღვა შუშის სუბსტრატზე ჯერ, შემდეგ კი ბარიერის ფენის და თესლის ფენის დეპონირება გვერდით კედელზე და ზედაპირზე. ბარიერის ფენა ხელს უშლის Cu-ის გავრცელებას შუშის სუბსტრატზე, ამავდროულად ზრდის ამ ორის ადჰეზიას, რა თქმა უნდა, ზოგიერთ კვლევაში ასევე აღმოჩნდა, რომ ბარიერის ფენა საჭირო არ არის. შემდეგ Cu დეპონირდება ელექტრული დაფარვით, შემდეგ ადუღდება და Cu ფენა ამოღებულია CMP-ით. საბოლოოდ, RDL-ის გადამყვანი ფენა მზადდება PVD საფარის ლითოგრაფიით, ხოლო პასივაციის ფენა იქმნება წებოს ამოღების შემდეგ.
(ა) ვაფლის მომზადება, (ბ) TGV-ს ფორმირება, (გ) ორმხრივი ელექტრული დაფარვა - სპილენძის დეპონირება, (დ) ანეილირება და CMP ქიმიურ-მექანიკური გაპრიალება, ზედაპირული სპილენძის ფენის მოცილება, (ე) PVD საფარი და ლითოგრაფია. , (ვ) RDL-ის ხელახალი გაყვანილობის ფენის განთავსება, (ზ) გლუვება და Cu/Ti ჭურვი, (თ) პასივაციის ფენის წარმოქმნა.
რომ შევაჯამოთ,შუშის ხვრელი (TGV)განაცხადის პერსპექტივები ფართოა და ამჟამინდელი შიდა ბაზარი აღმავალ ეტაპზეა, აღჭურვილობიდან პროდუქტის დიზაინამდე და კვლევისა და განვითარების ზრდის ტემპი გლობალურ საშუალოზე მაღალია.
თუ არის დარღვევა, კონტაქტი წაშალეთ
გამოქვეყნების დრო: ივლის-16-2024