156 მმ 159 მმ 6 დიუმიანი საფირონის ვაფლი C-Plane DSP TTV-ის მატარებლისთვის
სპეციფიკაცია
ნივთი | 6 დიუმიანი C-სიბრტყის (0001) საფირონის ვაფლები | |
კრისტალური მასალები | 99,999%, მაღალი სისუფთავის, მონოკრისტალური Al2O3 | |
კლასი | პრაიმ, ეპი-რეჟიმისთვის მზად | |
ზედაპირის ორიენტაცია | C-სიბრტყე (0001) | |
C-სიბრტყის გადახრის კუთხე M-ღერძის მიმართ 0.2 +/- 0.1° | ||
დიამეტრი | 100.0 მმ +/- 0.1 მმ | |
სისქე | 650 მკმ +/- 25 მკმ | |
ძირითადი ბრტყელი ორიენტაცია | C-სიბრტყე (00-01) +/- 0.2° | |
ერთ მხარეს გაპრიალებული | წინა ზედაპირი | ეპი-გაპრიალებული, Ra < 0.2 ნმ (AFM-ით) |
(სსპ) | უკანა ზედაპირი | წვრილად დაფქული, Ra = 0.8 μm-დან 1.2 μm-მდე |
ორმხრივი გაპრიალებული | წინა ზედაპირი | ეპი-გაპრიალებული, Ra < 0.2 ნმ (AFM-ით) |
(DSP) | უკანა ზედაპირი | ეპი-გაპრიალებული, Ra < 0.2 ნმ (AFM-ით) |
TTV | < 20 მკმ | |
მშვილდი | < 20 მკმ | |
დეფორმაცია | < 20 მკმ | |
დასუფთავება / შეფუთვა | 100 კლასის სუფთა ოთახების დასუფთავება და ვაკუუმური შეფუთვა, | |
25 ცალი ერთ კასეტის შეფუთვაში ან ერთნაწილიან შეფუთვაში. |
კილოპულოსის მეთოდს (KY მეთოდი) ამჟამად ჩინეთში მრავალი კომპანია იყენებს საფირონის კრისტალების წარმოებისთვის, რომლებიც გამოიყენება ელექტრონიკისა და ოპტიკის ინდუსტრიებში.
ამ პროცესში, მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდი დნება ტიგანში 2100 გრადუს ცელსიუსზე მაღალ ტემპერატურაზე. როგორც წესი, ტიგანი დამზადებულია ვოლფრამის ან მოლიბდენისგან. ზუსტად ორიენტირებული საწყისი კრისტალი იძირება გამდნარ ალუმინში. საწყისი კრისტალი ნელა იწევა ზემოთ და შეიძლება ერთდროულად ბრუნავდეს. ტემპერატურის გრადიენტის, წევის სიჩქარისა და გაგრილების სიჩქარის ზუსტი კონტროლით, შესაძლებელია დნობისგან დიდი, ერთკრისტალური, თითქმის ცილინდრული ზოდის მიღება.
ერთკრისტალური საფირონის ზოდების გაზრდის შემდეგ, ისინი იჭრება ცილინდრულ ღეროებად, რომლებიც შემდეგ იჭრება სასურველ ფანჯრის სისქემდე და საბოლოოდ იპრიალება სასურველ ზედაპირულ დასრულებამდე.
დეტალური დიაგრამა


