156 მმ 159 მმ 6 დიუმიანი საფირონის ვაფლი გადამზიდი C-Plane DSP TTV
სპეციფიკაცია
ელემენტი | 6 დიუმიანი C-plane(0001) საფირონის ვაფლი | |
კრისტალური მასალები | 99,999%, მაღალი სისუფთავე, მონოკრისტალური Al2O3 | |
შეფასება | პრემიერი, ეპი-მზად | |
ზედაპირის ორიენტაცია | C-plane (0001) | |
C- სიბრტყე გამორთული კუთხით M-ღერძის მიმართ 0,2 +/- 0,1° | ||
დიამეტრი | 100,0 მმ +/- 0,1 მმ | |
სისქე | 650 მკმ +/- 25 მკმ | |
პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | C- თვითმფრინავი (00-01) +/- 0,2° | |
ცალმხრივი გაპრიალებული | წინა ზედაპირი | ეპიგაპრიალებული, Ra < 0,2 ნმ (AFM-ით) |
(SSP) | უკანა ზედაპირი | წვრილად დაფქული, Ra = 0,8 მკმ-დან 1,2 მკმ-მდე |
ორმხრივი გაპრიალებული | წინა ზედაპირი | ეპიგაპრიალებული, Ra < 0,2 ნმ (AFM-ით) |
(DSP) | უკანა ზედაპირი | ეპიგაპრიალებული, Ra < 0,2 ნმ (AFM-ით) |
TTV | < 20 მკმ | |
მშვილდი | < 20 მკმ | |
WARP | < 20 მკმ | |
დასუფთავება / შეფუთვა | 100 კლასის სუფთა ოთახის დასუფთავება და ვაკუუმური შეფუთვა, | |
25 ცალი ერთი კასეტის შეფუთვაში ან ერთ ცალი შეფუთვაში. |
Kylopoulos მეთოდი (KY მეთოდი) ამჟამად გამოიყენება მრავალი კომპანიის მიერ ჩინეთში საფირონის კრისტალების წარმოებისთვის ელექტრონიკისა და ოპტიკის ინდუსტრიებში გამოსაყენებლად.
ამ პროცესში, მაღალი სისუფთავის ალუმინის ოქსიდი დნება ჭურჭელში 2100 გრადუს ცელსიუსზე მაღალ ტემპერატურაზე. ჩვეულებრივ ჭურჭელი დამზადებულია ვოლფრამის ან მოლიბდენისგან. ზუსტად ორიენტირებული თესლის კრისტალი ჩაეფლო გამდნარ ალუმინაში. სათესლე კრისტალი ნელა იწევა ზევით და შეიძლება ერთდროულად მოტრიალდეს. ტემპერატურის გრადიენტის, წევის სიჩქარისა და გაგრილების სიჩქარის ზუსტად კონტროლით, დნობისგან შეიძლება წარმოიქმნას დიდი, ერთკრისტალური, თითქმის ცილინდრული ჯოხი.
მას შემდეგ, რაც ერთკრისტალური საფირონის ღეროები გაიზრდება, ისინი იჭრება ცილინდრულ ღეროებში, რომლებიც შემდეგ იჭრება სასურველ ფანჯრის სისქემდე და ბოლოს პრიალდება სასურველ ზედაპირზე.