4H-ნახევრად HPSI 2inch SiC სუბსტრატის ვაფლის წარმოების Dummy Research grade

სილიციუმის კარბიდის სუბსტრატი ძირითადად იყოფა გამტარ და ნახევრად საიზოლაციო ტიპებად, გამტარ სილიციუმის კარბიდის სუბსტრატი n-ტიპის სუბსტრატამდე ძირითადად გამოიყენება ეპიტაქსიალური GaN-ზე დაფუძნებული LED და სხვა ოპტოელექტრონული მოწყობილობებისთვის, SiC-ზე დაფუძნებული დენის ელექტრონული მოწყობილობებისთვის და ა.შ., და ნახევრად. საიზოლაციო SiC სილიციუმის კარბიდის სუბსტრატი ძირითადად გამოიყენება GaN მაღალი სიმძლავრის რადიოსიხშირული მოწყობილობების ეპიტაქსიალური წარმოებისთვის. გარდა ამისა, მაღალი სისუფთავის ნახევრად იზოლაცია HPSI და SI ნახევრად იზოლაცია განსხვავებულია, მაღალი სისუფთავის ნახევრად საიზოლაციო მატარებლის კონცენტრაცია 3.5 * 1013 ~ 8 * 1015/cm3 დიაპაზონი, ელექტრონების მაღალი მობილურობით; ნახევრად იზოლაცია არის მაღალი წინააღმდეგობის მასალები, რეზისტენტობა ძალიან მაღალია, ზოგადად გამოიყენება მიკროტალღური მოწყობილობის სუბსტრატებისთვის, არაგამტარი.

ნახევრად საიზოლაციო სილიკონის კარბიდის სუბსტრატის ფურცელი SiC ვაფლი

SiC კრისტალური სტრუქტურა განსაზღვრავს მის ფიზიკურს, შედარებით Si და GaAs, SiC აქვს ფიზიკური თვისებების გამო; აკრძალული ზოლის სიგანე დიდია, 3-ჯერ აღემატება Si-ს, იმის უზრუნველსაყოფად, რომ მოწყობილობა მუშაობს მაღალ ტემპერატურაზე გრძელვადიანი საიმედოობით; ავარიის ველის სიძლიერე მაღალია, არის 1O-ჯერ მეტი Si-ზე, რათა უზრუნველყოს მოწყობილობის ძაბვის სიმძლავრე, გააუმჯობესოს მოწყობილობის ძაბვის მნიშვნელობა; გაჯერების ელექტრონის მაჩვენებელი დიდია, 2-ჯერ აღემატება Si-ს, რათა გაზარდოს მოწყობილობის სიხშირე და სიმძლავრის სიმკვრივე; თბოგამტარობა მაღალია, Si-ზე მეტი, თბოგამტარობა მაღალია, თბოგამტარობა მაღალია, თბოგამტარობა მაღალია, თბოგამტარობა მაღალია, Si-ზე მეტი, თბოგამტარობა მაღალია, თბოგამტარობა მაღალია. მაღალი თბოგამტარობა, Si-ზე 3-ჯერ მეტი, მოწყობილობის სითბოს გაფრქვევის უნარის გაზრდა და მოწყობილობის მინიატურიზაციის რეალიზება.