4H/6H-P 6inch SiC ვაფლი ნულოვანი MPD კლასის წარმოების კლასის მოჩვენებითი ხარისხი

4H/6H-P 6inch SiC ვაფლი ნულოვანი MPD კლასის წარმოების კლასის Dummy Grade გამორჩეული სურათი

მოკლე აღწერა:

4H/6H-P ტიპის 6 დიუმიანი SiC ვაფლი არის ნახევარგამტარული მასალა, რომელიც გამოიყენება ელექტრონული მოწყობილობების წარმოებაში, რომელიც ცნობილია თავისი შესანიშნავი თბოგამტარობით, მაღალი ავარიული ძაბვით და მაღალი ტემპერატურისა და კოროზიისადმი გამძლეობით. წარმოების კლასის და ნულოვანი MPD (მიკრო მილების დეფექტი) ხარისხი უზრუნველყოფს მის საიმედოობას და სტაბილურობას მაღალი ხარისხის ენერგეტიკული ელექტრონიკაში. წარმოების კლასის ვაფლები გამოიყენება ფართომასშტაბიანი მოწყობილობების წარმოებისთვის მკაცრი ხარისხის კონტროლით, ხოლო მოჩვენებითი კლასის ვაფლები ძირითადად გამოიყენება პროცესის გამართვისა და აღჭურვილობის ტესტირებისთვის. SiC-ის გამორჩეული თვისებები ხდის მას ფართოდ გამოყენებას მაღალი ტემპერატურის, მაღალი ძაბვის და მაღალი სიხშირის ელექტრონულ მოწყობილობებში, როგორიცაა დენის მოწყობილობები და RF მოწყობილობები.

გამოგვიგზავნეთ ელ.წერილი

პროდუქტის დეტალი

პროდუქტის ტეგები

4H/6H-P ტიპი SiC კომპოზიტური სუბსტრატები საერთო პარამეტრების ცხრილი

6 დიუმიანი დიამეტრი სილიკონის კარბიდის (SiC) სუბსტრატი სპეციფიკაცია

შეფასება			ნულოვანი MPD წარმოებახარისხი (ზ შეფასება)	სტანდარტული წარმოებაშეფასება (პ შეფასება)	Dummy Grade (D შეფასება)
დიამეტრი			145,5 მმ~150,0 მმ
სისქე			350 მკმ ± 25 მკმ
ვაფლის ორიენტაცია			-Offღერძი: 2,0°-4,0° [1120] ± 0,5° 4H/6H-P-სთვის, ღერძზე:〈111〉± 0,5° 3C-N-ისთვის
მიკრომილის სიმკვრივე			0 სმ-2
წინააღმდეგობა	p-ტიპი 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏსმ		≤0,3 Ωꞏსმ
	n-ტიპი 3C-N		≤0,8 mΩꞏსმ		≤1 მ Ωꞏსმ
პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია		4H/6H-P	-{1010} ± 5.0°
		3C-N	-{110} ± 5.0°
პირველადი ბრტყელი სიგრძე			32,5 მმ ± 2,0 მმ
მეორადი ბინის სიგრძე			18,0 მმ ± 2,0 მმ
მეორადი ბრტყელი ორიენტაცია			სილიკონის სახე ზემოთ: 90° CW. ძირითადი ბინიდან ± 5.0°
კიდეების გამორიცხვა			3 მმ		6 მმ
LTV / TTV / Bow / Warp			≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
უხეშობა			პოლონური Ra≤1 ნმ
			CMP Ra≤0.2 ნმ		Ra≤0,5 ნმ
კიდეზე ბზარები მაღალი ინტენსივობის შუქით			არცერთი		კუმულაციური სიგრძე ≤ 10 მმ, ერთი სიგრძე≤2 მმ
Hex ფირფიტები მაღალი ინტენსივობის შუქით			კუმულაციური ფართობი ≤0.05%		კუმულაციური ფართობი ≤0.1%
პოლიტიპური უბნები მაღალი ინტენსივობის შუქით			არცერთი		კუმულაციური ფართობი≤3%
ვიზუალური ნახშირბადის ჩანართები			კუმულაციური ფართობი ≤0.05%		კუმულაციური ფართობი ≤3%
სილიკონის ზედაპირის ნაკაწრები მაღალი ინტენსივობის შუქით			არცერთი		კუმულაციური სიგრძე≤1×ვაფლის დიამეტრი
Edge Chips მაღალი ინტენსივობით მსუბუქი			არ არის ნებადართული ≥0,2 მმ სიგანე და სიღრმე		5 ნებადართული, ≤1 მმ თითოეული
სილიკონის ზედაპირის დაბინძურება მაღალი ინტენსივობით			არცერთი
შეფუთვა			მრავალ ვაფლის კასეტა ან ერთი ვაფლის კონტეინერი

შენიშვნები:

※ დეფექტების ლიმიტები ვრცელდება მთელ ვაფლის ზედაპირზე, გარდა კიდეების გამორიცხვისა. # ნაკაწრები უნდა შემოწმდეს Si სახეზე o

4H/6H-P ტიპის 6 დიუმიანი SiC ვაფლი Zero MPD კლასით და წარმოების ან მოჩვენებითი კლასით ფართოდ გამოიყენება მოწინავე ელექტრონულ აპლიკაციებში. მისი შესანიშნავი თბოგამტარობა, მაღალი დაშლის ძაბვა და მკაცრი გარემოსადმი გამძლეობა მას იდეალურს ხდის დენის ელექტრონიკისთვის, როგორიცაა მაღალი ძაბვის კონცენტრატორები და ინვერტორები. Zero MPD ხარისხი უზრუნველყოფს მინიმალურ დეფექტებს, რაც მნიშვნელოვანია მაღალი საიმედოობის მოწყობილობებისთვის. წარმოების კლასის ვაფლები გამოიყენება ენერგეტიკული მოწყობილობების და RF აპლიკაციების ფართომასშტაბიან წარმოებაში, სადაც შესრულება და სიზუსტე გადამწყვეტია. სამაგიეროდ, მოჩვენებითი ვაფლები გამოიყენება პროცესის დაკალიბრებისთვის, აღჭურვილობის ტესტირებისთვის და პროტოტიპებისთვის, რაც უზრუნველყოფს ხარისხის თანმიმდევრულ კონტროლს ნახევარგამტარების წარმოების გარემოში.

N- ტიპის SiC კომპოზიტური სუბსტრატების უპირატესობებში შედის

მაღალი თბოგამტარობა: 4H/6H-P SiC ვაფლი ეფექტურად ანაწილებს სითბოს, რაც მას შესაფერისს ხდის მაღალი ტემპერატურისა და მაღალი სიმძლავრის ელექტრონული აპლიკაციებისთვის.
მაღალი ავარიული ძაბვა: მაღალი ძაბვის მარცხის გარეშე გატარების უნარი მას იდეალურს ხდის დენის ელექტრონიკისა და მაღალი ძაბვის გადართვის აპლიკაციებისთვის.
ნულოვანი MPD (მიკრო მილის დეფექტი).: დეფექტის მინიმალური სიმკვრივე უზრუნველყოფს უფრო მაღალ საიმედოობას და შესრულებას, რაც გადამწყვეტია მოთხოვნადი ელექტრონული მოწყობილობებისთვის.
წარმოება-კლასი მასობრივი წარმოებისთვის: შესაფერისია მაღალი ხარისხის ნახევარგამტარული მოწყობილობების ფართომასშტაბიანი წარმოებისთვის მკაცრი ხარისხის სტანდარტებით.
Dummy-Grade ტესტირებისა და კალიბრაციისთვის: ჩართავს პროცესის ოპტიმიზაციას, აღჭურვილობის ტესტირებას და პროტოტიპის შექმნას ძვირადღირებული წარმოების ვაფლის გამოყენების გარეშე.

საერთო ჯამში, 4H/6H-P 6 დიუმიანი SiC ვაფლები Zero MPD კლასით, წარმოების ხარისხით და მოჩვენებითი კლასით გვთავაზობენ მნიშვნელოვან უპირატესობებს მაღალი ხარისხის ელექტრონული მოწყობილობების შესაქმნელად. ეს ვაფლები განსაკუთრებით სასარგებლოა აპლიკაციებში, რომლებიც საჭიროებენ მაღალ ტემპერატურაზე მუშაობას, მაღალი სიმძლავრის სიმკვრივეს და ენერგიის ეფექტურ კონვერტაციას. Zero MPD კლასი უზრუნველყოფს მინიმალურ დეფექტებს საიმედო და სტაბილური მოწყობილობის მუშაობისთვის, ხოლო წარმოების კლასის ვაფლი მხარს უჭერს ფართომასშტაბიან წარმოებას მკაცრი ხარისხის კონტროლით. მოჩვენებითი კლასის ვაფლები უზრუნველყოფს ეკონომიურ გადაწყვეტას პროცესის ოპტიმიზაციისა და აღჭურვილობის კალიბრაციისთვის, რაც მათ შეუცვლელს ხდის მაღალი სიზუსტის ნახევარგამტარების წარმოებისთვის.