4 ინჩიანი 6 ინჩიანი ლითიუმის ნიობატის მონოკრისტალური ფირის LNOI ვაფლი
LNOI მასალების მომზადების პროცესი ძირითადად დაყოფილია შემდეგ ოთხ ეტაპად
(1) He იონები შეიყვანეს X-ჭრილ ლითიუმის ნიობატის მასალაში გარკვეული ენერგიით და შეიყვანეს დეფექტურ ფენაში ლითიუმის ნიობატის ზედაპირული ფენის ქვემოთ გარკვეულ სიღრმეზე;
(2) იონებით იმპლანტირებული ლითიუმის ნიობატის მასალა ოქსიდის ფენით უკავშირდება სილიციუმის სუბსტრატს შემაკავშირებელი სტრუქტურის შესაქმნელად;
(3) შემაკავშირებელი სტრუქტურა გახურდა, რათა He იონის იმპლანტაციით გამოწვეული დეფექტები განვითარებულიყო და აგრეგირებულიყო ბზარების წარმოსაქმნელად. და ბოლოს, ლითიუმის ნიობატი გამოიყო დეფექტის ფენის გასწვრივ, რათა წარმოქმნილიყო ლითიუმის ნიობატის ნარჩენი ნაჭრები და LNOI ვაფლები.
LNOI ვაფლის გამოყენება და უპირატესობები
1--ლითიუმის ნიობატის პიეზოელექტრული ფირები (LNOI) გამოირჩევა მაღალი პიეზოელექტრული კოეფიციენტით და დიელექტრული მუდმივით, რაც საშუალებას იძლევა მექანიკური ენერგიის ელექტრო ენერგიად ან ელექტრო ენერგია მექანიკურ ენერგიად გარდაიქმნას. ამიტომ, ის ფართოდ გამოიყენება სენსორების სფეროში, როგორიცაა წნევის სენსორები, აჩქარების სენსორები, ტემპერატურის სენსორები და ა.შ. გარდა ამისა, ლითიუმის ნიობატის პიეზოელექტრული ფირის გამოყენება ასევე შესაძლებელია აკუსტიკურ მოწყობილობებსა და ვიბრაციულ მოწყობილობებში, როგორიცაა პიეზოელექტრული კერამიკული გადამყვანი და კომპლექსური პიეზოელექტრული კერამიკული ფილტრი.
2- ლითიუმ ნიობატის პიეზოელექტრული ფირის სტაბილურობა ასევე მისი ერთ-ერთი უპირატესობაა. კრისტალური სტრუქტურის სტაბილურობისა და ქიმიური ინერტულობის გამო, ლითიუმ ნიობატის პიეზოელექტრული ფირი შეიძლება მუშაობდეს მაღალ ტემპერატურაზე, მაღალ ტენიანობაზე, ძლიერ მჟავაზე, ძლიერ ტუტეზე და სხვა მკაცრ გარემოში, კარგი კოროზიისადმი მდგრადობითა და გამძლეობით.
3-ლითიუმ-ნიობატის პიეზოელექტრული ფირი ახალი პიეზოელექტრული მასალაა, რომელსაც შესანიშნავი მახასიათებლები და სტაბილურობა აქვს და ფართო გამოყენების პერსპექტივა აქვს. მეცნიერებისა და ტექნოლოგიების უწყვეტი განვითარების წყალობით, ლითიუმის-ნიობატის პიეზოელექტრული ფირი უფრო მეტ ქალაქში იქნება გამოყენებული, რაც ადამიანების ცხოვრებას მეტ კომფორტსა და ინოვაციას მოუტანს.
დეტალური დიაგრამა
