4 დიუმიანი 6 დიუმიანი ლითიუმის ნიობატის ერთკრისტალური ფირის LNOI ვაფლი
LNOI მასალების მომზადების პროცესი ძირითადად იყოფა შემდეგ ოთხ ეტაპად
(1) ის იონები შეჰყავდათ X-დაჭრილ ლითიუმ ნიობატის მასალაში გარკვეული ენერგიით და შეჰყავდათ დეფექტის შრეში გარკვეულ სიღრმეზე ლითიუმის ნიობატის ზედაპირული ფენის ქვემოთ;
(2) იონური იმპლანტირებული ლითიუმის ნიობატის მასალა მიბმულია სილიკონის სუბსტრატზე ოქსიდის ფენით, რათა შეიქმნას შემაკავშირებელი სტრუქტურა;
(3) შემაკავშირებელ სტრუქტურას ანეილირებდნენ, რათა He-იონის იმპლანტაციის შედეგად წარმოქმნილი დეფექტები განვითარებულიყო და გაერთიანდეს ბზარების წარმოქმნით. საბოლოოდ, ლითიუმის ნიობატი გამოეყო დეფექტის ფენის გასწვრივ, რათა ჩამოყალიბდეს ნარჩენი ლითიუმის ნიობატის ნაჭრები და LNOI ვაფლები.
LNOI ვაფლის აპლიკაციები და უპირატესობები
1--ლითიუმის ნიობატის პიეზოელექტრული ფირები (LNOI) აქვთ მაღალი პიეზოელექტრული კოეფიციენტი და დიელექტრიკული მუდმივი, რომელსაც შეუძლია მექანიკური ენერგია ელექტრო ენერგიად გადააქციოს ან ელექტრული ენერგია მექანიკურ ენერგიად. ამიტომ, იგი ფართოდ გამოიყენება სენსორების სფეროში, როგორიცაა წნევის სენსორები, აჩქარების სენსორები, ტემპერატურის სენსორები და ა.შ. გარდა ამისა, ლითიუმის ნიობატის პიეზოელექტრული ფილმი ასევე შეიძლება გამოყენებულ იქნას აკუსტიკური მოწყობილობებისა და ვიბრაციის მოწყობილობებში, როგორიცაა პიეზოელექტრული კერამიკული გადამყვანი კომპლექსური პიეზოელექტრული კერამიკული ფილტრი.
2-ლითიუმის ნიობატის პიეზოელექტრული ფირის სტაბილურობა ასევე მისი ერთ-ერთი უპირატესობაა. მისი კრისტალური სტრუქტურის სტაბილურობისა და ქიმიური ინერტულობის გამო, ლითიუმის ნიობატის პიეზოელექტრული ფილმი შეუძლია იმუშაოს მაღალ ტემპერატურაზე, მაღალ ტენიანობაზე, ძლიერ მჟავაზე, ძლიერ ტუტეზე და სხვა უხეში გარემოში, კარგი კოროზიის წინააღმდეგობით და გამძლეობით.
3-ლითიუმის ნიობატის პიეზოელექტრული ფირი არის ახალი პიეზოელექტრული მასალა შესანიშნავი შესრულებით და სტაბილურობით და აქვს ფართო გამოყენების პერსპექტივა. მეცნიერებისა და ტექნოლოგიების უწყვეტი განვითარებით, ლითიუმის ნიობატის პიეზოელექტრული ფილმი გამოყენებული იქნება უფრო მეტ ქალაქში, რაც უფრო მეტ კომფორტს და ინოვაციას მოუტანს ადამიანების ცხოვრებას.
დეტალური დიაგრამა
