50.8 მმ 2 ინჩიანი GaN საფირონის ეპი-შრის ვაფლი
გალიუმის ნიტრიდის GaN ეპიტაქსიური ფურცლის გამოყენება
გალიუმის ნიტრიდის მახასიათებლების მიხედვით, გალიუმის ნიტრიდის ეპიტაქსიური ჩიპები ძირითადად შესაფერისია მაღალი სიმძლავრის, მაღალი სიხშირის და დაბალი ძაბვის აპლიკაციებისთვის.
ეს აისახება:
1) მაღალი ზოლური უფსკრული: მაღალი ზოლური უფსკრული აუმჯობესებს გალიუმის ნიტრიდის მოწყობილობების ძაბვის დონეს და შეუძლია გალიუმის არსენიდის მოწყობილობებთან შედარებით უფრო მაღალი სიმძლავრის გამომუშავება, რაც განსაკუთრებით შესაფერისია 5G საკომუნიკაციო საბაზო სადგურებისთვის, სამხედრო რადარებისთვის და სხვა სფეროებისთვის;
2) მაღალი გარდაქმნის ეფექტურობა: გალიუმის ნიტრიდის შემცველი ელექტრონულ მოწყობილობების ჩართვის წინაღობა 3-ჯერ ნაკლებია სილიკონის მოწყობილობებთან შედარებით, რამაც შეიძლება მნიშვნელოვნად შეამციროს ჩართვისას დანაკარგები;
3) მაღალი თბოგამტარობა: გალიუმის ნიტრიდის მაღალი თბოგამტარობა მას შესანიშნავ სითბოს გაფრქვევის მახასიათებლებს ანიჭებს, რაც შესაფერისია მაღალი სიმძლავრის, მაღალი ტემპერატურის და სხვა სფეროების მოწყობილობების წარმოებისთვის;
4) ელექტრული ველის დაშლის სიძლიერე: მიუხედავად იმისა, რომ გალიუმის ნიტრიდის ელექტრული ველის დაშლის სიძლიერე სილიციუმის ნიტრიდის სიძლიერესთან ახლოსაა, ნახევარგამტარული პროცესის, მასალის ბადის შეუსაბამობის და სხვა ფაქტორების გამო, გალიუმის ნიტრიდის მოწყობილობების ძაბვის ტოლერანტობა ჩვეულებრივ დაახლოებით 1000 ვოლტია, ხოლო უსაფრთხო გამოყენების ძაბვა, როგორც წესი, 650 ვოლტზე ნაკლებია.
| ნივთი | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
| ზომები | e 50.8 მმ ± 0.1 მმ | ||
| სისქე | 4.5±0.5 მკმ | 4.5±0.5 მიკრონი | |
| ორიენტაცია | C-სიბრტყე (0001) ±0.5° | ||
| გამტარობის ტიპი | N-ტიპი (დოპირების გარეშე) | N-ტიპი (Si-დოპირებული) | P-ტიპი (Mg-დოპირებული) |
| წინაღობა (300K) | < 0.5 კვ. სმ | < 0.05 კვ. სმ | ~ 10 კვ. სმ |
| მატარებლის კონცენტრაცია | < 5x1017სმ-3 | > 1x1018სმ-3 | > 6x1016 სმ-3 |
| მობილურობა | ~ 300 სმ2/Vs | ~ 200 სმ2/Vs | ~ 10 სმ2/Vs |
| დისლოკაციის სიმჭიდროვე | 5x10-ზე ნაკლები8სმ-2(გამოთვლილია XRD-ის FWHM-ებით) | ||
| სუბსტრატის სტრუქტურა | GaN საფირონზე (სტანდარტული: SSP ოფცია: DSP) | ||
| გამოსაყენებელი ზედაპირის ფართობი | > 90% | ||
| პაკეტი | შეფუთულია 100 კლასის სუფთა ოთახის გარემოში, 25 ცალი კასეტებში ან ერთ ვაფლის კონტეინერებში, აზოტის ატმოსფეროში. | ||
* სხვა სისქის მორგება შესაძლებელია
დეტალური დიაგრამა
