8 დიუმიანი SiC წარმოების კლასის ვაფლის 4H-N SiC სუბსტრატი

8 დიუმიანი SiC წარმოების კლასის ვაფლი 4H-N SiC სუბსტრატი გამორჩეული სურათი

მოკლე აღწერა:

8-დიუმიანი SiC სუბსტრატები გამოიყენება მაღალი სიმძლავრის ელექტრონულ მოწყობილობებში, როგორიცაა დენის MOSFET-ები (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), Schottky დიოდები და სხვა სიმძლავრის ნახევარგამტარული მოწყობილობები.

გამოგვიგზავნეთ ელ.წერილი

პროდუქტის დეტალი

პროდუქტის ტეგები

შემდეგი ცხრილი გვიჩვენებს ჩვენი 8 დიუმიანი SiC ვაფლის სპეციფიკაციებს:

8 დიუმიანი N- ტიპის SiC DSP სპეციფიკაციები
ნომერი	ელემენტი	ერთეული	წარმოება	კვლევა	მატყუარა
1: პარამეტრები
1.1	პოლიტიპი	--	4H	4H	4H
1.2	ზედაპირის ორიენტაცია	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: ელექტრული პარამეტრი
2.1	დოპანტური	--	n ტიპის აზოტი	n ტიპის აზოტი	n ტიპის აზოტი
2.2	წინააღმდეგობა	ohm · სმ	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: მექანიკური პარამეტრი
3.1	დიამეტრი	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	სისქე	მმ	500±25	500±25	500±25
3.3	ნაჭრის ორიენტაცია	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	ჩაჭრის სიღრმე	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	მმ	≤5 (10 მმ*10 მმ)	≤5 (10 მმ*10 მმ)	≤10 (10 მმ*10 მმ)
3.6	TTV	მმ	≤10	≤10	≤15
3.7	მშვილდი	მმ	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	გადახვევა	მმ	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: სტრუქტურა
4.1	მიკრომილის სიმკვრივე	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	ლითონის შემცველობა	ატომები/სმ2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.წინა ხარისხი
5.1	წინა	--	Si	Si	Si
5.2	ზედაპირის დასრულება	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	ნაწილაკი	ეა/ვაფლი	≤100 (ზომა≥0.3μm)	NA	NA
5.4	ნაკაწრი	ეა/ვაფლი	≤5, საერთო სიგრძე≤200 მმ	NA	NA
5.5	ზღვარი ჩიპები / ჩაღრმავები / ბზარები / ლაქები / დაბინძურება	--	არცერთი	არცერთი	NA
5.6	პოლიტიპური უბნები	--	არცერთი	ფართობი ≤10%	ფართობი ≤30%
5.7	წინა მარკირება	--	არცერთი	არცერთი	არცერთი
6: ზურგის ხარისხი
6.1	უკან დასრულება	--	C-სახის დეპუტატი	C-სახის დეპუტატი	C-სახის დეპუტატი
6.2	ნაკაწრი	mm	NA	NA	NA
6.3	უკანა დეფექტები კიდეზე ჩიპები / ჩაღრმავები	--	არცერთი	არცერთი	NA
6.4	ზურგის უხეშობა	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	უკანა მარკირება	--	ჭრილი	ჭრილი	ჭრილი
7: ზღვარი
7.1	ზღვარი	--	ჩამფერი	ჩამფერი	ჩამფერი
8: პაკეტი
8.1	შეფუთვა	--	ეპი-მზადაა ვაკუუმით შეფუთვა	ეპი-მზადაა ვაკუუმით შეფუთვა	ეპი-მზადაა ვაკუუმით შეფუთვა
8.2	შეფუთვა	--	მრავალ ვაფლი კასეტის შეფუთვა	მრავალ ვაფლი კასეტის შეფუთვა	მრავალ ვაფლი კასეტის შეფუთვა