პრემიუმ საფირონის ამწევი ქინძისთავები ერთკრისტალური Al₂O₃ ვაფლის ამწევი ქინძისთავი
ტექნიკური პარამეტრები
| ქიმიური შემადგენლობა | Al2O3 |
| სიმტკიცე | 9 მოჰსი |
| ოპტიკური ბუნება | ცალღერძიანი |
| რეფრაქციული ინდექსი | 1.762-1.770 |
| ორმაგი რეფრინგენტობა | 0.008-0.010 |
| დისპერსია | დაბალი, 0.018 |
| ბრწყინვალება | მინისებრი სხეული |
| პლეოქროიზმი | საშუალოდან ძლიერამდე |
| დიამეტრი | 0.4 მმ-30 მმ |
| დიამეტრის ტოლერანტობა | 0.004 მმ-0.05 მმ |
| სიგრძე | 2 მმ-150 მმ |
| სიგრძის ტოლერანტობა | 0.03 მმ-0.25 მმ |
| ზედაპირის ხარისხი | 40/20 |
| ზედაპირის სიმრგვალე | RZ0.05 |
| მორგებული ფორმა | ორივე ბოლო ბრტყელია, ერთი ბოლო რედიუსი, ორივე ბოლო რედიუსი, უნაგირის ქინძისთავები და სპეციალური ფორმები |
ძირითადი მახასიათებლები
1. განსაკუთრებული სიმტკიცე და ცვეთისადმი მდგრადობა: მოჰსის სიმტკიცის 9 ქულით, რომელიც მეორეა მხოლოდ ბრილიანტის შემდეგ, საფირონის ამწევი ქინძისთავები ავლენენ ცვეთის მახასიათებლებს, რომლებიც მკვეთრად აღემატება ტრადიციული სილიციუმის კარბიდის, ალუმინის კერამიკის ან ლითონის შენადნობის ალტერნატივებს. ეს უკიდურესი სიმტკიცე იწვევს ნაწილაკების წარმოქმნის და მოვლა-პატრონობის მოთხოვნების მნიშვნელოვნად შემცირებას, ხოლო მომსახურების ვადა, როგორც წესი, 3-5-ჯერ აღემატება ტრადიციულ მასალებს შესადარებელ აპლიკაციებში.
2. მაღალი ტემპერატურისადმი უმაღლესი მდგრადობა: შექმნილია 1000°C-ზე მაღალ ტემპერატურაზე ხანგრძლივი მუშაობისთვის დეგრადაციის გარეშე, Sapphire Lift Pins ინარჩუნებს განზომილებიან სტაბილურობას და მექანიკურ სიმტკიცეს ყველაზე მომთხოვნი თერმული პროცესების დროს. ეს მათ განსაკუთრებით ღირებულს ხდის კრიტიკული აპლიკაციებისთვის, როგორიცაა ქიმიური ორთქლის დეპონირება (CVD), ლითონ-ორგანული ქიმიური ორთქლის დეპონირება (MOCVD) და მაღალტემპერატურული გახურების სისტემები, სადაც თერმული გაფართოების შეუსაბამობამ შეიძლება შეამციროს პროცესის მოსავლიანობა.
3. ქიმიური ინერტულობა: ერთკრისტალური საფირონის სტრუქტურა ავლენს შესანიშნავ წინააღმდეგობას HF მჟავას, ქლორზე დაფუძნებული ქიმიკატების და ნახევარგამტარების წარმოებაში ხშირად გავრცელებული სხვა აგრესიული ტექნოლოგიური აირების მიმართ. ეს ქიმიური სტაბილურობა უზრუნველყოფს სტაბილურ მუშაობას პლაზმურ გარემოში და ხელს უშლის ზედაპირული დეფექტების წარმოქმნას, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ვაფლის დაბინძურება.
4. დაბალი ნაწილაკებით დაბინძურება: დამზადებულია დეფექტების გარეშე, მაღალი სისუფთავის საფირონის კრისტალებისგან (როგორც წესი, >99.99%), ეს ამწევი ქინძისთავები ავლენენ ნაწილაკების მინიმალურ გამოყოფას ხანგრძლივი გამოყენების შემდეგაც კი. მათი არაფოროვანი ზედაპირის სტრუქტურა და გაპრიალებული დასრულება აკმაყოფილებს სუფთა ოთახის ყველაზე მკაცრ მოთხოვნებს, რაც პირდაპირ ხელს უწყობს მოწინავე კვანძოვანი ნახევარგამტარების წარმოებაში პროცესის მოსავლიანობის გაუმჯობესებას.
მაღალი სიზუსტის დამუშავება: ალმასის დაფქვისა და ლაზერული დამუშავების მოწინავე ტექნიკის გამოყენებით, საფირონის ამწევი ქინძისთავების წარმოება შესაძლებელია სუბმიკრონული ტოლერანტობით და ზედაპირის დამუშავებით 0.05μm Ra-ზე ნაკლები სისქით. ახალი თაობის საწარმოო აღჭურვილობაში ვაფლების დამუშავებასთან დაკავშირებული სპეციფიკური გამოწვევების გადასაჭრელად შესაძლებელია ინდივიდუალური გეომეტრიის შექმნა, მათ შორის კონუსური პროფილების, სპეციალური წვერის კონფიგურაციების და ინტეგრირებული გასწორების ფუნქციების ჩათვლით.
ძირითადი აპლიკაციები
1. ნახევარგამტარული წარმოება: საფირონის ამწევი ქინძისთავები გადამწყვეტ როლს თამაშობენ ვაფლის დამუშავების მოწინავე სისტემებში, რაც უზრუნველყოფს საიმედო საყრდენს და ზუსტ პოზიციონირებას ფოტოლიტოგრაფიის, გრავირების, დეპონირებისა და შემოწმების პროცესების დროს. მათი თერმული და ქიმიური სტაბილურობა მათ განსაკუთრებით ღირებულს ხდის EUV ლითოგრაფიის ხელსაწყოებსა და მოწინავე შეფუთვის აპლიკაციებში, სადაც ნანომეტრული მასშტაბის განზომილებიანი სტაბილურობა აუცილებელია.
2. LED ეპიტაქსია (MOCVD): გალიუმის ნიტრიდში (GaN) და მასთან დაკავშირებულ ნახევარგამტარული ეპიტაქსიური ზრდის სისტემებში, საფირონის ამწევი ქინძისთავები უზრუნველყოფენ ვაფლის სტაბილურ საყრდენს 1000°C-ზე მეტ ტემპერატურაზე. მათი შესაბამისი თერმული გაფართოების მახასიათებლები საფირონის სუბსტრატებთან ამცირებს ვაფლის მოხრას და სრიალის წარმოქმნას ეპიტაქსიური ზრდის პროცესის დროს.
3. ფოტოელექტრული ინდუსტრია: მაღალი ეფექტურობის მზის უჯრედების წარმოება სარგებლობს საფირონის უნიკალური თვისებებით მაღალტემპერატურულ დიფუზიაში, შედუღებასა და თხელი ფენის დეპონირების პროცესებში. ქინძისთავების ცვეთამედეგობა განსაკუთრებით ფასეულია მასობრივი წარმოების გარემოში, სადაც კომპონენტების სიცოცხლის ხანგრძლივობა პირდაპირ გავლენას ახდენს წარმოების ხარჯებზე.
4. ზუსტი ოპტიკა და ელექტრონიკის დამუშავება: ნახევარგამტარული გამოყენების გარდა, საფირონის ამწევი ქინძისთავები გამოიყენება დელიკატური ოპტიკური კომპონენტების, MEMS მოწყობილობების და სპეციალური სუბსტრატების დასამუშავებლად, სადაც დაბინძურებისგან თავისუფალი დამუშავება და ნაკაწრებისგან დაცვა კრიტიკულად მნიშვნელოვანია. მათი ელექტროიზოლაციის თვისებები მათ იდეალურს ხდის ელექტროსტატიკურად მგრძნობიარე მოწყობილობებთან დაკავშირებული გამოყენებისთვის.
XKH-ის მომსახურება საფირონის ამწევი ქინძისთავებისთვის
XKH უზრუნველყოფს ყოვლისმომცველ ტექნიკურ მხარდაჭერას და ინდივიდუალურ გადაწყვეტილებებს Sapphire Lift Pins-ისთვის:
1. ინდივიდუალური შემუშავების სერვისები
· განზომილებიანი, გეომეტრიული და ზედაპირული დამუშავების პერსონალიზაციის მხარდაჭერა
· მასალის შერჩევა და ტექნიკური პარამეტრების ოპტიმიზაციის რეკომენდაციები
· თანამშრომლობითი პროდუქტის დიზაინი და სიმულაციური ვერიფიკაცია
2. ზუსტი წარმოების შესაძლებლობები
· მაღალი სიზუსტის დამუშავება ±1μm-ის ფარგლებში კონტროლირებადი ტოლერანტობით
· სპეციალური დამუშავება, მათ შორის სარკისებური გაპრიალება და კიდეების დახრა
· ზედაპირის მოდიფიკაციის დამატებითი გადაწყვეტილებები, როგორიცაა ანტიწებოვანი საფარი
3. ხარისხის უზრუნველყოფის სისტემა
· შემომავალი მასალების შემოწმებისა და პროცესის კონტროლის მკაცრი განხორციელება
· სრულგანზომილებიანი ოპტიკური შემოწმება და ზედაპირის მორფოლოგიის ანალიზი
· პროდუქტის მუშაობის ტესტირების ანგარიშების მიწოდება
4. მიწოდების ჯაჭვის მომსახურება
· სტანდარტული პროდუქციის სწრაფი მიწოდება
· ძირითადი ანგარიშებისთვის ინვენტარის სპეციალური მართვა
5. ტექნიკური მხარდაჭერა
· აპლიკაციის გადაწყვეტილებების კონსულტაცია
· სწრაფი გაყიდვის შემდგომი რეაგირება
ჩვენ ვალდებულნი ვართ უზრუნველვყოთ მაღალი ხარისხის Sapphire Lift Pins პროდუქტები და პროფესიონალური ტექნიკური მომსახურება, რათა დავაკმაყოფილოთ ნახევარგამტარების, LED და სხვა მოწინავე ინდუსტრიების მკაცრი მოთხოვნები.
