SOI ვაფლის იზოლატორი სილიკონის 8 დიუმიან და 6 დიუმიან SOI (Silicon-On-Insulator) ვაფლებზე
ვაფლის ყუთის წარმოდგენა
შეიცავს ზედა სილიკონის ფენას, საიზოლაციო ოქსიდის ფენას და ქვედა სილიკონის სუბსტრატს, სამ ფენიანი SOI ვაფლი გთავაზობთ შეუდარებელ უპირატესობებს მიკროელექტრონიკასა და RF დომენებში. სილიკონის ზედა ფენა, მაღალი ხარისხის კრისტალური სილიკონით, ხელს უწყობს რთული ელექტრონული კომპონენტების ინტეგრაციას სიზუსტით და ეფექტურობით. საიზოლაციო ოქსიდის ფენა, ზედმიწევნით შემუშავებული პარაზიტების ტევადობის შესამცირებლად, აძლიერებს მოწყობილობის მუშაობას არასასურველი ელექტრული ჩარევის შერბილებით. ქვედა სილიკონის სუბსტრატი უზრუნველყოფს მექანიკურ მხარდაჭერას და უზრუნველყოფს სილიკონის დამუშავების არსებულ ტექნოლოგიებთან თავსებადობას.
მიკროელექტრონიკაში SOI ვაფლი ემსახურება როგორც საფუძველს მოწინავე ინტეგრირებული სქემების (ICs) წარმოებისთვის უმაღლესი სიჩქარით, ენერგოეფექტურობით და საიმედოობით. მისი სამშრიანი არქიტექტურა იძლევა რთული ნახევარგამტარული მოწყობილობების შემუშავების საშუალებას, როგორიცაა CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) IC, MEMS (მიკროელექტრო-მექანიკური სისტემები) და ენერგეტიკული მოწყობილობები.
RF დომენში, SOI ვაფლი აჩვენებს შესანიშნავი ეფექტურობას RF მოწყობილობებისა და სისტემების დიზაინსა და განხორციელებაში. მისი დაბალი პარაზიტული ტევადობა, მაღალი დაშლის ძაბვა და შესანიშნავი იზოლაციის თვისებები აქცევს მას იდეალურ სუბსტრატს RF კონცენტრატორების, გამაძლიერებლების, ფილტრების და სხვა RF კომპონენტებისთვის. გარდა ამისა, SOI ვაფლის თანდაყოლილი რადიაციული ტოლერანტობა მას შესაფერისს ხდის საჰაერო კოსმოსური და თავდაცვის პროგრამებისთვის, სადაც საიმედოობა მკაცრი გარემოში არის გადამწყვეტი.
გარდა ამისა, SOI ვაფლის მრავალფეროვნება ვრცელდება განვითარებად ტექნოლოგიებზე, როგორიცაა ფოტონიკური ინტეგრირებული სქემები (PICs), სადაც ოპტიკური და ელექტრონული კომპონენტების ერთ სუბსტრატზე ინტეგრაცია დაპირებაა შემდეგი თაობის სატელეკომუნიკაციო და მონაცემთა კომუნიკაციის სისტემებისთვის.
მოკლედ, სამი ფენის სილიკონის იზოლატორზე (SOI) ვაფლი დგას ინოვაციების წინა პლანზე მიკროელექტრონიკასა და RF პროგრამებში. მისი უნიკალური არქიტექტურა და შესრულების განსაკუთრებული მახასიათებლები გზას უქმნის წინსვლას მრავალფეროვან ინდუსტრიებში, წინსვლას და ტექნოლოგიის მომავლის ფორმირებას.