ულტრაზუსტი SiC ჰაერგამტარი სადგამი

ულტრაზუსტი SiC ჰაერგამტარი სცენის მთავარი სურათი

მოკლე აღწერა:

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის უწყვეტი ევოლუციის კვალდაკვალ, დამუშავებისა და შემოწმების მოწყობილობები სულ უფრო მაღალ შესრულებას მოითხოვს. მოძრაობის კონტროლისა და ნანომეტრის დონის პოზიციონირების სფეროში ფართო ექსპერტიზის საფუძველზე, ჩვენ შევიმუშავეთ ბრტყელი H-ტიპის ორღერძიანი ულტრაზუსტი ჰაერგამტარი სცენა.

გამოგვიგზავნეთ ელ.წერილი

მახასიათებლები

დეტალური დიაგრამა

მიმოხილვა

სასრული ელემენტებით ოპტიმიზირებული სილიციუმის კარბიდის (SiC) კერამიკული სტრუქტურისა და კომპენსირებული ჰაერის საკისრების ტექნოლოგიით დაპროექტებული სცენა უზრუნველყოფს გამორჩეულ სიზუსტეს, სიმყარეს და დინამიურ რეაგირებას. ის იდეალურად შეეფერება:

ნახევარგამტარული დამუშავება და შემოწმება
მიკრო/ნანო წარმოება და მეტროლოგია
ნანომეტრის მასშტაბის ფრენის ჭრა და გაპრიალება
მაღალსიჩქარიანი ზუსტი სკანირება

ძირითადი მახასიათებლები

SiC ჰაერის საკისრების გამტარი გზაულტრამაღალი სიმყარისა და სიზუსტისთვის
მაღალი დინამიკა: სიჩქარე 1 მ/წმ-მდე, აჩქარება 4 გ-მდე, სწრაფი დალექვა
ორმაგი წამყვანი განტრის Y-ღერძიუზრუნველყოფს მაღალ დატვირთვის ტევადობას და სტაბილურობას
ენკოდერის პარამეტრებიოპტიკური ბადე ან ლაზერული ინტერფერომეტრი
პოზიციონირების სიზუსტე: ±0.15 მკმ;განმეორებადობა: ±75 ნმ
ოპტიმიზებული კაბელის მარშრუტიზაციასუფთა დიზაინისთვის და გრძელვადიანი საიმედოობისთვის
პერსონალიზებადი კონფიგურაციებიაპლიკაციის სპეციფიკური საჭიროებებისთვის

ულტრაზუსტი დიზაინი და პირდაპირი წამყვანი, უკონტაქტო არქიტექტურა

SiC კერამიკული ჩარჩოალუმინის შენადნობის სიმტკიცე ~5-ჯერ მეტი და ~5-ჯერ ნაკლები თერმული გაფართოება, რაც უზრუნველყოფს მაღალსიჩქარიან სტაბილურობას და თერმულ მდგრადობას.
კომპენსირებული ჰაერის საკისარისაკუთარი დიზაინი აუმჯობესებს სიმყარეს, დატვირთვის ტევადობას და მოძრაობის სტაბილურობას.
დინამიური შესრულებამხარს უჭერს 1 მ/წმ სიჩქარეს და 4 გ აჩქარებას, იდეალურია მაღალი გამტარუნარიანობის პროცესებისთვის.
უწყვეტი ინტეგრაციათავსებადია ვიბრაციის იზოლაციის სისტემებთან, მბრუნავ საფეხურებთან, დახრის მოდულებთან და ვაფლის დამუშავების პლატფორმებთან.
კაბელების მართვაკონტროლირებადი მოხრის რადიუსი მინიმუმამდე ამცირებს დატვირთვას ხანგრძლივი მომსახურების ვადის გასაზრდელად.

უბირთვო ხაზოვანი ძრავაგლუვი მოძრაობა ნულოვანი დახვევის ძალით.
მრავალძრავიანი წამყვანიძრავის დატვირთვის სიბრტყეში განთავსება აუმჯობესებს სისწორეს, სიბრტყეს და კუთხოვან სიზუსტეს.
თერმული იზოლაციაძრავები იზოლირებულია სცენის სტრუქტურისგან; მაღალი დატვირთვის ციკლებისთვის შესაძლებელია ჰაერით ან წყლით გაგრილება.

სპეციფიკაციები

მოდელი	400-400	500-500	600-600
ცულები	X (სკანირება) / Y (ნაბიჯი)	X (სკანირება) / Y (ნაბიჯი)	X (სკანირება) / Y (ნაბიჯი)
მგზავრობა (მმ)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
სიზუსტე (მკმ)	±0.15	±0.2	±0.2
განმეორებადობა (ნმ)	±75	±100	±100
გარჩევადობა (ნმ)	0.3	0.3	0.3
მაქსიმალური სიჩქარე (მ/წმ)	1	1	1
აჩქარება (გ)	4	4	4
სისწორე (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
სტაბილურობა (ნმ)	±5	±5	±5
მაქსიმალური დატვირთვა (კგ)	20	20	20
დახრილობა/გორება/გადახრა (რკალი-წმ)	±1	±1	±1

ტესტის პირობები:

ჰაერის მიწოდება: სუფთა, მშრალი; ნამის წერტილი ≤ 0°F; ნაწილაკების ფილტრაცია ≤ 0.25 μm; ან 99.99% აზოტი.
სიზუსტე გაზომილი იყო სცენის ცენტრიდან 25 მმ-ზე 20±1 °C ტემპერატურაზე, 40–60% ტენიანობის რეზისტენტობაზე.

აპლიკაციები

ნახევარგამტარული ლითოგრაფია, შემოწმება და ვაფლების დამუშავება
მიკრო/ნანო წარმოება და ზუსტი მეტროლოგია
მაღალი დონის ოპტიკის წარმოება და ინტერფერომეტრია
აერონავტიკა და მოწინავე სამეცნიერო კვლევა

ხშირად დასმული კითხვები – სილიკონის კარბიდის ჰაერგამტარი ეტაპი

1. რა არის ჰაერის მატარებელი ეტაპი?

ჰაერით აღჭურვილი სცენა სცენასა და გამტარ ბილიკს შორის იყენებს წნევით შემავალი ჰაერის თხელ ფენას, რათა უზრუნველყოსხახუნის გარეშე, ცვეთის გარეშე და ულტრა გლუვი მოძრაობაჩვეულებრივი მექანიკური საკისრებისგან განსხვავებით, ის გამორიცხავს სრიალ-ცურებას, უზრუნველყოფს ნანომეტრის დონის სიზუსტეს და უზრუნველყოფს გრძელვადიან საიმედოობას.

2. რატომ გამოიყენება სილიციუმის კარბიდი (SiC) სცენის კონსტრუქციისთვის?

მაღალი სიმტკიცე: ~5-ჯერ მეტი ალუმინის შენადნობის მაჩვენებელზე, რაც მინიმუმამდე ამცირებს დეფორმაციას დინამიური მოძრაობის დროს.
დაბალი თერმული გაფართოება: ~5-ჯერ დაბალია ალუმინთან შედარებით, რაც ინარჩუნებს სიზუსტეს ტემპერატურის ცვალებადობის დროსაც.
მსუბუქიფოლადთან შედარებით უფრო დაბალი სიმკვრივე, რაც მაღალი სიჩქარითა და აჩქარებით მუშაობის საშუალებას იძლევა.
შესანიშნავი სტაბილურობაუმაღლესი დემპინგი და სიმტკიცე ულტრაზუსტი პოზიციონირებისთვის.

3. სცენას სჭირდება შეზეთვა ან მოვლა?

ტრადიციული შეზეთვა საჭირო არ არის, რადგან არსებობსმექანიკური კონტაქტის გარეშერეკომენდებული მოვლა მოიცავს:

მომარაგებასუფთა, მშრალი შეკუმშული ჰაერი ან აზოტი
ფილტრებისა და საშრობების პერიოდული შემოწმება
კაბელების და გაგრილების სისტემების მონიტორინგი

4. რა არის ჰაერის მიწოდების მოთხოვნები?

ნამის წერტილი: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
ნაწილაკების ფილტრაცია: ≤ 0.25 მკმ
სუფთა, მშრალი ჰაერი ან 99.99%-იანი სუფთა აზოტი
სტაბილური წნევა მინიმალური რყევებით

ჩვენს შესახებ

XKH სპეციალიზირებულია სპეციალური ოპტიკური მინის და ახალი კრისტალური მასალების მაღალტექნოლოგიურ შემუშავებაში, წარმოებასა და გაყიდვებში. ჩვენი პროდუქცია გამოიყენება ოპტიკურ ელექტრონიკაში, სამომხმარებლო ელექტრონიკასა და სამხედრო სფეროებში. ჩვენ გთავაზობთ საფირონის ოპტიკურ კომპონენტებს, მობილური ტელეფონის ლინზების გადასაფარებლებს, კერამიკას, LT-ს, სილიციუმის კარბიდის SIC-ს, კვარცს და ნახევარგამტარული ბროლის ვაფლებს. კვალიფიციური ექსპერტიზისა და უახლესი აღჭურვილობის წყალობით, ჩვენ წარმატებებს ვაღწევთ არასტანდარტული პროდუქციის დამუშავებაში და ვისწრაფვით ვიყოთ წამყვანი ოპტოელექტრონული მასალების მაღალტექნოლოგიური საწარმო.