3 დიუმიანი მაღალი სისუფთავის (დაუმუშავებელი) სილიკონის კარბიდის ვაფლის ნახევრად საიზოლაციო Sic სუბსტრატები (HPSl)
თვისებები
1. ფიზიკური და სტრუქტურული თვისებები
●მასალის ტიპი: მაღალი სისუფთავის (დაუმუშავებელი) სილიკონის კარბიდი (SiC)
●დიამეტრი: 3 ინჩი (76.2 მმ)
●სისქე: 0,33-0,5 მმ, რეგულირებადი განაცხადის მოთხოვნების მიხედვით.
●კრისტალური სტრუქტურა: 4H-SiC პოლიტიპი ექვსკუთხა გისოსით, რომელიც ცნობილია ელექტრონების მაღალი მობილურობითა და თერმული სტაბილურობით.
●ორიენტაცია:
o სტანდარტული: [0001] (C-plane), შესაფერისია აპლიკაციების ფართო სპექტრისთვის.
o არჩევითი: ღერძიდან (4° ან 8° დახრილობა) მოწყობილობის ფენების გაძლიერებული ეპიტაქსიალური ზრდისთვის.
●სიბრტყე: მთლიანი სისქის ცვალებადობა (TTV) ●ზედაპირის ხარისხი:
o გაპრიალებული o დაბალი დეფექტის სიმკვრივემდე (<10/cm² მიკრომილის სიმკვრივე). 2. ელექტრული თვისებები ●რეზისტენტობა: >109^99 Ω·სმ, შენარჩუნებული განზრახ დოპანტების აღმოფხვრით.
●დიელექტრიკული სიძლიერე: მაღალი ძაბვის გამძლეობა მინიმალური დიელექტრიკული დანაკარგებით, იდეალურია მაღალი სიმძლავრის გამოყენებისთვის.
●თერმული გამტარობა: 3.5-4.9 W/cm·K, რაც უზრუნველყოფს სითბოს ეფექტურ გაფრქვევას მაღალი ხარისხის მოწყობილობებში.
3. თერმული და მექანიკური თვისებები
●Wide Bandgap: 3.26 eV, მხარდამჭერი მუშაობა მაღალი ძაბვის, მაღალი ტემპერატურისა და მაღალი გამოსხივების პირობებში.
●სიხისტე: Mohs-ის მასშტაბი 9, რაც უზრუნველყოფს გამძლეობას დამუშავების დროს მექანიკური ცვეთისგან.
●თერმული გაფართოების კოეფიციენტი: 4.2×10−6/K4.2 \ჯერ 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, უზრუნველყოფს განზომილების სტაბილურობას ტემპერატურის ცვალებადობისას.
პარამეტრი | წარმოების ხარისხი | კვლევის ხარისხი | Dummy Grade | ერთეული |
შეფასება | წარმოების ხარისხი | კვლევის ხარისხი | Dummy Grade | |
დიამეტრი | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
სისქე | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | მმ |
ვაფლის ორიენტაცია | ღერძზე: <0001> ± 0,5° | ღერძზე: <0001> ± 2,0° | ღერძზე: <0001> ± 2,0° | ხარისხი |
მიკრომილის სიმკვრივე (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | სმ−2^-2−2 |
ელექტრული წინააღმდეგობა | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·სმ |
დოპანტი | დაუმუშავებელი | დაუმუშავებელი | დაუმუშავებელი | |
პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | ხარისხი |
პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
მეორადი ბინის სიგრძე | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
მეორადი ბრტყელი ორიენტაცია | 90° CW პირველადი ბინიდან ± 5.0° | 90° CW პირველადი ბინიდან ± 5.0° | 90° CW პირველადი ბინიდან ± 5.0° | ხარისხი |
კიდეების გამორიცხვა | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV / TTV / Bow / Warp | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15/±40/45 | მმ |
ზედაპირის უხეშობა | Si-სახე: CMP, C-სახე: გაპრიალებული | Si-სახე: CMP, C-სახე: გაპრიალებული | Si-სახე: CMP, C-სახე: გაპრიალებული | |
ბზარები (მაღალი ინტენსივობის შუქი) | არცერთი | არცერთი | არცერთი | |
Hex ფირფიტები (მაღალი ინტენსივობის განათება) | არცერთი | არცერთი | კუმულაციური ფართობი 10% | % |
პოლიტიპური არეები (მაღალი ინტენსივობის განათება) | კუმულაციური ფართობი 5% | კუმულაციური ფართობი 20% | კუმულაციური ფართობი 30% | % |
ნაკაწრები (მაღალი ინტენსივობის შუქი) | ≤ 5 ნაკაწრი, კუმულაციური სიგრძე ≤ 150 | ≤ 10 ნაკაწრი, კუმულაციური სიგრძე ≤ 200 | ≤ 10 ნაკაწრი, კუმულაციური სიგრძე ≤ 200 | mm |
კიდეების ჩიპინგი | არცერთი ≥ 0,5 მმ სიგანე/სიღრმე | 2 დასაშვებია ≤ 1 მმ სიგანე/სიღრმე | 5 დაშვებული ≤ 5 მმ სიგანე/სიღრმე | mm |
ზედაპირის დაბინძურება | არცერთი | არცერთი | არცერთი |
აპლიკაციები
1. დენის ელექტრონიკა
HPSI SiC სუბსტრატების ფართო ზოლი და მაღალი თერმული კონდუქტომეტრი მათ იდეალურს ხდის ექსტრემალურ პირობებში მომუშავე ენერგეტიკული მოწყობილობებისთვის, როგორიცაა:
●მაღალი ძაბვის მოწყობილობები: მათ შორის MOSFET, IGBT და Schottky Barrier Diodes (SBD) ენერგიის ეფექტური კონვერტაციისთვის.
●განახლებადი ენერგიის სისტემები: როგორიცაა მზის ინვერტორები და ქარის ტურბინის კონტროლერები.
●ელექტრო მანქანები (EVs): გამოიყენება ინვერტორებში, დამტენებში და ელექტროგადამცემ სისტემებში ეფექტურობის გასაუმჯობესებლად და ზომის შესამცირებლად.
2. RF და მიკროტალღური აპლიკაციები
HPSI ვაფლის მაღალი წინააღმდეგობა და დაბალი დიელექტრიკული დანაკარგები აუცილებელია რადიოსიხშირული (RF) და მიკროტალღური სისტემებისთვის, მათ შორის:
●სატელეკომუნიკაციო ინფრასტრუქტურა: საბაზო სადგურები 5G ქსელებისთვის და სატელიტური კომუნიკაციებისთვის.
●აერონავტიკა და თავდაცვა: რადარის სისტემები, ფაზური მასივის ანტენები და ავიონიკის კომპონენტები.
3. ოპტოელექტრონიკა
4H-SiC-ის გამჭვირვალობა და ფართო ზოლი იძლევა მის გამოყენებას ოპტოელექტრონულ მოწყობილობებში, როგორიცაა:
●UV ფოტოდეტექტორები: გარემოს მონიტორინგისა და სამედიცინო დიაგნოსტიკისთვის.
●მაღალი სიმძლავრის LED-ები: მყარი მდგომარეობის განათების სისტემების მხარდაჭერა.
●ლაზერული დიოდები: სამრეწველო და სამედიცინო გამოყენებისთვის.
4. კვლევა და განვითარება
HPSI SiC სუბსტრატები ფართოდ გამოიყენება აკადემიურ და სამრეწველო R&D ლაბორატორიებში მოწინავე მატერიალური თვისებების და მოწყობილობების დამზადების შესასწავლად, მათ შორის:
●ეპიტაქსიალური ფენის ზრდა: დეფექტების შემცირებისა და ფენის ოპტიმიზაციის კვლევები.
●მატარებლის მობილობის კვლევები: ელექტრონისა და ხვრელის ტრანსპორტირების გამოკვლევა მაღალი სისუფთავის მასალებში.
●პროტოტიპირება: ახალი მოწყობილობებისა და სქემების საწყისი განვითარება.
უპირატესობები
უმაღლესი ხარისხი:
მაღალი სისუფთავე და დაბალი დეფექტის სიმკვრივე უზრუნველყოფს საიმედო პლატფორმას მოწინავე აპლიკაციებისთვის.
თერმული სტაბილურობა:
სითბოს გაფრქვევის შესანიშნავი თვისებები საშუალებას აძლევს მოწყობილობებს ეფექტურად იმუშაონ მაღალი სიმძლავრის და ტემპერატურის პირობებში.
ფართო თავსებადობა:
ხელმისაწვდომი ორიენტაციები და მორგებული სისქის პარამეტრები უზრუნველყოფს ადაპტირებას სხვადასხვა მოწყობილობის მოთხოვნებთან.
გამძლეობა:
განსაკუთრებული სიმტკიცე და სტრუქტურული სტაბილურობა ამცირებს ცვეთას და დეფორმაციას დამუშავებისა და ექსპლუატაციის დროს.
მრავალმხრივობა:
ვარგისია ინდუსტრიების ფართო სპექტრისთვის, განახლებადი ენერგიებიდან დაწყებული კოსმოსური და ტელეკომუნიკაციებით დამთავრებული.
დასკვნა
3 დიუმიანი მაღალი სისუფთავის ნახევრად საიზოლაციო სილიკონის კარბიდის ვაფლი წარმოადგენს სუბსტრატის ტექნოლოგიის მწვერვალს მაღალი სიმძლავრის, მაღალი სიხშირის და ოპტოელექტრონული მოწყობილობებისთვის. მისი შესანიშნავი თერმული, ელექტრული და მექანიკური თვისებების კომბინაცია უზრუნველყოფს საიმედო მუშაობას რთულ გარემოში. ენერგეტიკული ელექტრონიკიდან და RF სისტემებიდან დაწყებული ოპტოელექტრონიკამდე და მოწინავე R&D-მდე, ეს HPSI სუბსტრატები საფუძველს იძლევა ხვალინდელი ინოვაციებისთვის.
დამატებითი ინფორმაციისთვის ან შეკვეთის გასაკეთებლად გთხოვთ დაგვიკავშირდეთ. ჩვენი ტექნიკური გუნდი ხელმისაწვდომია თქვენს საჭიროებებზე მორგებული ხელმძღვანელობისა და პერსონალიზაციის ვარიანტებისთვის.