Dia300x1.0 მმ სისქის საფირონის ვაფლის C-პლანა SSP/DSP
ვაფლის ყუთის დანერგვა
კრისტალური მასალები | Al2O3-ის 99,999%, მაღალი სისუფთავის, მონოკრისტალური, Al2O3 | |||
კრისტალის ხარისხი | ჩანართები, ბლოკის ნიშნები, ტყუპები, ფერი, მიკრობუშტები და გაფანტვის ცენტრები არ არსებობს. | |||
დიამეტრი | 2 ინჩი | 3 ინჩი | 4 ინჩი | 6 ინჩი ~ 12 ინჩი |
50.8± 0.1 მმ | 76.2±0.2 მმ | 100±0.3 მმ | სტანდარტული წარმოების დებულებების შესაბამისად | |
სისქე | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | შესაძლებელია მომხმარებლის მიერ მორგება |
ორიენტაცია | C-სიბრტყე (0001) M-სიბრტყემდე (1-100) ან A-სიბრტყემდე (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-სიბრტყე (1-1 0 2), A-სიბრტყე (1 1-2 0), M-სიბრტყე (1-1 0 0), ნებისმიერი ორიენტაცია, ნებისმიერი კუთხე | |||
ძირითადი ბრტყელი სიგრძე | 16.0±1 მმ | 22.0±1.0 მმ | 32.5±1.5 მმ | სტანდარტული წარმოების დებულებების შესაბამისად |
ძირითადი ბრტყელი ორიენტაცია | A-სიბრტყე (1 1-2 0) ± 0.2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
მშვილდი | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
დეფორმაცია | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
წინა ზედაპირი | ეპი-გაპრიალებული (Ra< 0.2nm) |
*მრუდი: თავისუფალი, დაუმაგრებელი ვაფლის მედიანა ზედაპირის ცენტრალური წერტილის გადახრა საცნობარო სიბრტყიდან, სადაც საცნობარო სიბრტყე განისაზღვრება ტოლგვერდა სამკუთხედის სამი კუთხით.
*დეფორმაცია: თავისუფალი, დაუმაგრებელი ვაფლის მედიანა ზედაპირის მაქსიმალურ და მინიმალურ მანძილებს შორის სხვაობა ზემოთ განსაზღვრული საცნობარო სიბრტყიდან.
მაღალი ხარისხის პროდუქტები და მომსახურება ახალი თაობის ნახევარგამტარული მოწყობილობებისა და ეპიტაქსიური ზრდისთვის:
მაღალი სიბრტყის ხარისხი (კონტროლირებადი TTV, მშვილდი, warp და ა.შ.)
მაღალი ხარისხის გაწმენდა (დაბალი ნაწილაკების დაბინძურება, დაბალი ლითონის დაბინძურება)
სუბსტრატის ბურღვა, ღარების გაკეთება, ჭრა და უკანა მხარის გაპრიალება
ისეთი მონაცემების დართვა, როგორიცაა სუბსტრატის სისუფთავე და ფორმა (არასავალდებულო)
თუ საფირონის სუბსტრატების საჭიროება გაქვთ, გთხოვთ, დაგვიკავშირდეთ:
ფოსტა:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
ჩვენ რაც შეიძლება მალე დაგიკავშირდებით!
დეტალური დიაგრამა

