Dia300x1.0mmt სისქის საფირონის ვაფლი C-Plane SSP/DSP
ვაფლის ყუთის წარმოდგენა
კრისტალური მასალები | 99,999% Al2O3, მაღალი სისუფთავე, მონოკრისტალური, Al2O3 | |||
ბროლის ხარისხი | ჩანართები, ბლოკის ნიშნები, ტყუპები, ფერი, მიკრო ბუშტები და დისპერსიული ცენტრები არ არსებობს | |||
დიამეტრი | 2 ინჩი | 3 ინჩი | 4 ინჩი | 6 დიუმი ~ 12 ინჩი |
50,8± 0,1 მმ | 76,2±0,2 მმ | 100±0.3 მმ | სტანდარტული წარმოების დებულებების შესაბამისად | |
სისქე | 430±15 მკმ | 550±15 მკმ | 650±20 მკმ | შეიძლება მორგებული იყოს მომხმარებლის მიერ |
ორიენტაცია | C- სიბრტყე (0001) M- სიბრტყემდე (1-100) ან A- სიბრტყე (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R- სიბრტყე (1-1 0 2), A- სიბრტყე (1 1-2 0 ), M- თვითმფრინავი (1-1 0 0), ნებისმიერი ორიენტაცია , ნებისმიერი კუთხე | |||
პირველადი ბრტყელი სიგრძე | 16.0±1 მმ | 22.0±1.0 მმ | 32,5±1,5 მმ | სტანდარტული წარმოების დებულებების შესაბამისად |
პირველადი ბრტყელი ორიენტაცია | A- თვითმფრინავი (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
LTV | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
TIR | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
მშვილდი | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
გადახვევა | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
წინა ზედაპირი | Epi-Polished (Ra< 0.2nm) |
* მშვილდი: თავისუფალი, დაუმაგრებელი ვაფლის მედიანური ზედაპირის ცენტრალური წერტილის გადახრა საორიენტაციო სიბრტყიდან, სადაც საცნობარო სიბრტყე განისაზღვრება ტოლგვერდა სამკუთხედის სამი კუთხით.
*Warp: განსხვავება თავისუფალი, დაუმაგრებელი ვაფლის მედიანური ზედაპირის მაქსიმალურ და მინიმალურ მანძილებს შორის ზემოთ განსაზღვრული საცნობარო სიბრტყიდან.
მაღალი ხარისხის პროდუქტები და სერვისები შემდეგი თაობის ნახევარგამტარული მოწყობილობებისთვის და ეპიტაქსიალური ზრდისთვის:
სიბრტყის მაღალი ხარისხი (კონტროლირებადი TTV, მშვილდი, მრგვალი და ა.შ.)
მაღალი ხარისხის გაწმენდა (დაბალი ნაწილაკების დაბინძურება, დაბალი ლითონის დაბინძურება)
სუბსტრატის ბურღვა, ღარები, ჭრა და უკანა პოლირება
ისეთი მონაცემების მიმაგრება, როგორიცაა სუბსტრატის სისუფთავე და ფორმა (სურვილისამებრ)
თუ თქვენ გჭირდებათ საფირონის სუბსტრატები, გთხოვთ დაუკავშირდეთ:
ფოსტა:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
ჩვენ დაგიბრუნდებით რაც შეიძლება მალე!